Tipos de Tratamientos con Plasma - Activación con plasma, limpieza con plasma, grabado con plasma y recubrimiento con plasma • Grabado anisotrópico e isotrópico
Uno de los propósitos específicos de los tratamientos con plasma es recubrir con plasma. Hay dos formas de recubrir con plasma: procesos de deposición química de vapor mejorados con plasma (PECVD) y deposición física de vapor (PVD). El PECVD es un proceso de deposición química en fase vapor (CVD) que utiliza plasma frío y utiliza temperaturas de deposición muy bajas en comparación con las temperaturas utilizadas en los reactores CVD. PECVD tiene una amplia gama de aplicaciones; un ejemplo son las capas antirayaduras en óptica. Algunas ventajas de PECVD son su baja fuente de energía y la uniformidad de las capas depositadas. Además, las capas creadas por PECVD pueden ser de mejor calidad en comparación con CVD, por lo que la probabilidad de agrietar la capa depositada es mucho menor. También es relativamente fácil limpiar la cámara después del proceso PECVD. Esto es importante porque las películas gruesas que se forman en las paredes de la cámara pueden contaminar la superficie del sustrato (si la cámara no se limpia correctamente).
Los procesos PVD se utilizan para recubrir superficies con plasma con el fin de mejorar la resistencia al desgaste y la oxidación del material. Sus otros propósitos incluyen mejorar la dureza y la vida útil. Los tratamientos con plasma son opciones efectivas y eficientes para cambiar las propiedades de un material. A diferencia de CVD, donde el material depositado está originalmente en su forma gaseosa, el material depositado está en estado sólido para PVD. PVD ocurre en condiciones de vacío e incluye cuatro pasos diferentes:
- El material a depositar se excita con plasma, para formar un vapor
- Se introduce una especie gaseosa reactiva
- El gas reactivo forma un compuesto con el vapor formado
- El compuesto se deposita sobre el sustrato
Introducción a los tratamientos con plasma
El plasma es uno de los cuatro estados de la materia; es gas ionizado con una cantidad igual de cargas positivas y negativas libres. Si se suministra suficiente energía o temperatura a cada estado, el estado se convierte en el siguiente orden: sólido, líquido, gas y plasma. El plasma cambia las propiedades superficiales del material porque transfiere energía extra y promueve reacciones en la superficie. El plasma puede cambiar las propiedades de la superficie sin alterar las propiedades generales del material. Las reacciones entre la superficie del material y el gas de proceso controlan el resultado del tratamiento con plasma. El tratamiento con plasma se utiliza para limpiar, activar, grabar y recubrir con plasma. Sus aplicaciones van desde la activación de la superficie de textiles hasta la limpieza de superficies de equipos médicos. El tratamiento con plasma es un proceso muy ecológico y asequible.
Para obtener más información sobre el uso del plasma en la fabricación, lea nuestro libro electrónico titulado "Guía de activación de superficies del fabricante para una mejor adherencia".
